高純度ガス
- 特定不純物が一定濃度以下で保障された固有の性質を持つ単成分の圧縮ガスあるいは液体ガスです。
リサーチ用、ゼロガス用、キャリヤー用雰囲気用などに使用します。
窒素ガス、圧縮空気は発生源用ゼロガスとして使用します。 - 高純度ガスの種類
-
・窒素 ・二酸化炭素 ・一酸化炭素 ・酸素 ・ネオン
・酸化窒素 ・圧縮空気 ・クリプトン ・エチレン ・アルゴン
・キセノン・メタン・水素 ・エタン ・アセチレン ・ヘリウム
・六フッ化硫黄・プロパン ・イソブタン
レーザーガス
- 炭酸ガスレーザー用混合ガス「サンレーザー」シリーズ
お客様の用途に合わせたベストな使い方をご提案します。
「サンレーザー」シリーズーは、高出力発振が可能な高品質炭酸ガスレーザーの媒質ガスです。
| サンレーザの 品質（標準値） | ||
|---|---|---|
| 不純物濃度（ppm） | 水分（露点℃） | |
| O2 | CnHm | |
| ＜10 | ＜1 | ＜-65 |
| 注）GAシリーズは、ご指定のガス混合比の製品です。 | ||
| サンレーザの種類 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| シリーズ名 | ガス組成（％） | 充填圧力 （Mpa 35℃） |
|||
| He | N2 | CO2 | CO | ||
| G1 | 82 | 13.5 | 4.5 | 14.7 (150kg/cm2) |
|
| G2 | 76 | 18 | 6 | ||
| G3 | 80 | 14 | 6 | ||
| G4 | 81 | 15.6 | 3.4 | ||
| GX2 | 56 | 40 | 4 | ||
| GX3 | 70 | 25 | 5 | ||
| S1 | 78 | 14 | 8 | ||
| H1 | 53 | 40 | 7 | ||
| HD | 60 | 33 | 7 | ||
| HL | 72.3 | 24.3 | 3.4 | ||
| TF | 40 | 55 | 5 | ||
| OLC | 70.8 | 24.2 | 5 | ||
| OLC II | 61 | 34 | 5 | ||
| M1 | 28 | 60 | 8 | 4 | 9.8 (100kg/cm2) |
| M2 | 82 | 8 | 8 | 2 | |
| M3 | 78 | 10 | 10 | 2 | |
| M4 | 22 | 60 | 12 | 6 | |
| GA | 14.7(3種混合) および 9.8(4種混合) |
||||
標準ガス
| 標準ガスの種類、範囲及び精度 | |||
|---|---|---|---|
| 種類 | 範囲 | 精度 | |
| １級標準ガス | ２級標準ガス | ||
| CH4-Air | 1 Vol ppm ～ 50 Vol ppm | ±1,0 | ±2,0 |
| C3H4-Air | 3,5 Vol ppm ～ 500 Vol ppm | ±1,0 | ±2,0 |
| C3H8-N2 | 150 Vol ppm ～ 1,5 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 |
| CO-N2 | 3 Vol ppm ～ 50Vol ppm | ±1,5 | ±2,5 |
| 50 Vol 超 ～ 15 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 | |
| CO2-N2 | 300 Vol ppm ～ 16 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 |
| NO-N2 | 0,5 Vol ppm ～ 1 Vol ppm | － | ±5,0 | 1 Vol ppm 超 ～ 30 Vol ppm | ±1,5 | ±2,0 |
| 30 Vol ppm超 ～ 5 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 | |
| NO2-Air | 5 Vol ppm ～ 50 Vol ppm | ±5,0 | － |
| O2-N2 | 1 Vol ％ ～ 25 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 |
| SO2-N2 | 0,5 Vol ppm ～ 1 Vol ppm | － | ±5,0 |
| 1 Vol ppm 超 ～ 50 Vol ppm | ±1,5 | ±2,5 | |
| 50 Vol ppm 超 ～ 1 Vol ％ | ±1,0 | ±2,0 | |
